掃描電鏡拍不清楚，通常與樣品狀態、成像參數或儀器狀況有關。

一、檢查樣品狀態

樣品不導電。

表面容易積聚電荷，導致圖像模糊。

解決方法：可在樣品表面鍍一層金、鉑或碳，或使用低真空模式觀察非導體樣品。

樣品表面太粗糙或有灰塵。

表面不平整會造成局部失焦。

解決方法：清潔樣品，調整樣品角度，使表面盡量平整。

樣品裝夾松動或震動。

樣品微小移動會讓圖像抖動、模糊。

解決方法：使用導電膠或銅膠帶固定樣品，確保樣品臺穩定，避免外部震動。

二、優化成像參數

焦距不準。

這是最常見原因之一。尤其在高倍率下，應仔細微調焦距和像散校正。

加速電壓不合適。

電壓過高會使電子穿透樣品太深，降低表面分辨率；電壓過低則信號弱、噪聲大。

建議導電樣品使用 5–15 kV，非導電樣品使用 1–5 kV。

工作距離不合適。

工作距離太大，分辨率下降；太小，信號可能不穩定。

一般使用 8–12 mm，或按照廠家推薦值。

束流電流不當。

電流太大，圖像亮但模糊；太小，圖像暗但清晰。

建議適當減小束流電流，必要時增大積分時間。

掃描速度太快。

掃描過快會使噪聲增加，圖像模糊。

可使用慢掃描或多幀平均模式。

三、檢查儀器狀態

電子槍污染或偏軸。

電子束不穩定會導致成像模糊。

應聯系維護人員進行校準或清潔。

真空度不良。

真空不足時，電子束會被氣體散射，降低分辨率。

檢查真空系統是否泄漏或密封圈老化。

探測器接觸不良。

信號不穩定會導致圖像對比度低。

檢查探測器與主機連接是否牢固。